「SEMICON Japan」に出展いたします!

2017年12月13日(水)–15日(金)、東京ビッグサイトにて開催される「SEMICON Japan」に出展いたします。

 

展示会では、LED方式/ランプ方式いずれのUV照射器も展示し、

硬化・接着から材料開発・表面処理まであらゆるニーズに対応いたします。

今回新たに、露光用光源ユニットを展示いたします。是非ご覧ください。

 

開催期間

2017年12月13日(水)–15日(金) 10:00~17:00

展示会場 東京ビッグサイト(アクセス)東1ホール

ブースNo,

1925 
事前登録 http://www.semiconjapan.org/register

出展製品

露光用LED光源ユニット

従来の超高圧水銀ランプ光源に代わるLED光源ユニット。

LEDは水銀レスだけでなく、超高圧水銀ランプと比較し省電力・長寿命であり

環境負荷を低減します。

さらに、光源から熱線が出ない為、ワーク温度・環境温度上昇を抑制するだけでなく、

超高圧水銀ランプ特有の初期・末期の分光変化に起因する

工程管理の複雑さも解消します。

LED光源は単一波長の為、水銀ランプに比べて効率が劣りますが、本システムは

波長の異なるLEDで構成することによってLED光源の問題も解決しました。

コリメート1.5度以下、デグリネーション1.5度以下で

露光面照度30mW/cm2(5kW水銀ランプ相当)を実現しています。

 



深紫外_UV-LED照射器

265nm、280nm、285nm、300nmの深紫外LEDを使った最新のUV-LED照射器を、

お客様それぞれの仕様に見合ったカスタム設計でご提案いたします。

 

多波長混合UV-LED照射器も充実しています。



超々高圧水銀ランプ光源_165-SHU/D210-SHU

■165-SHU

主波長:365nmのファイバー導光式ランプ光源です。

 

■D210-SHU

主波長:300nm以下のファイバー導光式ランプ光源です。

 

石英ファイバーの射出部形状は、

スポット/ライン/2分岐式など、カスタム対応いたします。



表面洗浄/改質用_バッチ式低圧水銀ランプ装置

低圧水銀ランプ(185nm/254nm)による表面洗浄/改質が、

小型バッチ式で登場!

 

写真の装置では、

8cm角のワークが簡単に表面処理できます。

オゾン触媒を背面に装着することで排気ダクトも不要です。



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シーシーエス株式会社

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